Growth and characterization of group 3 nitride films on SiC substrates by pulsed laser deposition パルスレーザ堆積法によるSiC基板上への窒化物半導体薄膜の成長と評価
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著者
書誌事項
- タイトル
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Growth and characterization of group 3 nitride films on SiC substrates by pulsed laser deposition
- タイトル別名
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パルスレーザ堆積法によるSiC基板上への窒化物半導体薄膜の成長と評価
- 著者名
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金, 明姫
- 著者別名
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キム, ミョンヒ
- 学位授与大学
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東京大学
- 取得学位
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博士 (学術)
- 学位授与番号
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甲第23213号
- 学位授与年月日
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2008-03-24
注記・抄録
博士論文