Laser crystallization of non two-dimensional silicon substrate for thin film device application レーザー結晶化による非二次元シリコン基板作製とその薄膜デバイス応用
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著者
書誌事項
- タイトル
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Laser crystallization of non two-dimensional silicon substrate for thin film device application
- タイトル別名
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レーザー結晶化による非二次元シリコン基板作製とその薄膜デバイス応用
- 著者名
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菅原, 祐太
- 著者別名
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スガワラ, ユウタ
- 学位授与大学
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奈良先端科学技術大学院大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第858号
- 学位授与年月日
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2009-03-24
注記・抄録
博士論文