Studies on the fabrication of vertical integrated MEMS devices 縦方向に集積化されたMEMSデバイス作製の研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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Studies on the fabrication of vertical integrated MEMS devices
- タイトル別名
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縦方向に集積化されたMEMSデバイス作製の研究
- 著者名
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大場, 正利
- 著者別名
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オオバ, マサトシ
- 学位授与大学
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京都大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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乙第12493号
- 学位授与年月日
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2010-09-24
注記・抄録
博士論文
