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Silicon oxycarbide films fabricated by using an atmospheric pressure microplasma jet : structural, optical and electrical characterizations 大気圧マイクロプラズマジェットにより作製したSiOC薄膜とその微細構造、光学・電気的物性評価

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著者

    • 丁, 毅 ディン, イ

書誌事項

タイトル

Silicon oxycarbide films fabricated by using an atmospheric pressure microplasma jet : structural, optical and electrical characterizations

タイトル別名

大気圧マイクロプラズマジェットにより作製したSiOC薄膜とその微細構造、光学・電気的物性評価

著者名

丁, 毅

著者別名

ディン, イ

学位授与大学

埼玉大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第777号

学位授与年月日

2010-03-24

注記・抄録

博士論文

博士の専攻分野の名称 : 博士(工学)学位授与年月日 : 平成22年3月24日

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000545232
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000547305
  • 本文言語コード
    • eng
  • NDL書誌ID
    • 000011285264
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
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