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高性能プラズマ源の材料プロセスへの応用に関する実験的研究 Experimental study on applications of high quality plasma sources to materials processing

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著者

    • 早川, 雅浩 ハヤカワ, マサヒロ

書誌事項

タイトル

高性能プラズマ源の材料プロセスへの応用に関する実験的研究

タイトル別名

Experimental study on applications of high quality plasma sources to materials processing

著者名

早川, 雅浩

著者別名

ハヤカワ, マサヒロ

学位授与大学

中部大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第84号

学位授与年月日

2011-03-23

注記・抄録

博士論文

2アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000546231
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000548308
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000011299780
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
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