高性能プラズマ源の材料プロセスへの応用に関する実験的研究 Experimental study on applications of high quality plasma sources to materials processing

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Author

    • 早川, 雅浩 ハヤカワ, マサヒロ

Bibliographic Information

Title

高性能プラズマ源の材料プロセスへの応用に関する実験的研究

Other Title

Experimental study on applications of high quality plasma sources to materials processing

Author

早川, 雅浩

Author(Another name)

ハヤカワ, マサヒロ

University

中部大学

Types of degree

博士 (工学)

Grant ID

甲第84号

Degree year

2011-03-23

Note and Description

博士論文

5access

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000546231
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000548308
  • Text Lang
    • jpn
  • NDLBibID
    • 000011299780
  • Source
    • Institutional Repository
    • NDL ONLINE

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