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メモリ/ロジック三次元集積技術の研究 A study on 3-D integration technology for memory and logic

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著者

    • 栗田, 洋一郎 クリタ, ヨウイチロウ

書誌事項

タイトル

メモリ/ロジック三次元集積技術の研究

タイトル別名

A study on 3-D integration technology for memory and logic

著者名

栗田, 洋一郎

著者別名

クリタ, ヨウイチロウ

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第7812号

学位授与年月日

2009-09-25

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000547659
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000549752
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 023313739
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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