メモリ/ロジック三次元集積技術の研究 A study on 3-D integration technology for memory and logic
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著者
書誌事項
- タイトル
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メモリ/ロジック三次元集積技術の研究
- タイトル別名
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A study on 3-D integration technology for memory and logic
- 著者名
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栗田, 洋一郎
- 著者別名
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クリタ, ヨウイチロウ
- 学位授与大学
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東京工業大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第7812号
- 学位授与年月日
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2009-09-25
注記・抄録
博士論文