ナノインデンテーション法を用いた薄膜基板間の界面強度評価
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著者
書誌事項
- タイトル
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ナノインデンテーション法を用いた薄膜基板間の界面強度評価
- 著者名
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上月, 謙太郎
- 著者別名
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コウズキ, ケンタロウ
- 学位授与大学
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東京工業大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第7948号
- 学位授与年月日
-
2010-03-26
注記・抄録
博士論文
ナノインデンテーション法を用いた薄膜基板間の界面強度評価
上月, 謙太郎
コウズキ, ケンタロウ
東京工業大学
博士 (工学)
甲第7948号
2010-03-26
博士論文