光反応性単分子膜を用いた熱ナノインプリントリソグラフィ Thermal nanoimprint lithography with a photo-reactive monolayer
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Bibliographic Information
- Title
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光反応性単分子膜を用いた熱ナノインプリントリソグラフィ
- Other Title
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Thermal nanoimprint lithography with a photo-reactive monolayer
- Author
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小田, 博和
- Author(Another name)
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オダ, ヒロカズ
- University
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東京工業大学
- Types of degree
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博士 (工学)
- Grant ID
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甲第8003号
- Degree year
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2010-03-26
Note and Description
博士論文