プラズマエッチングにおける損傷発生機構の解明とその抑制
Search this Article
Author
Bibliographic Information
- Title
-
プラズマエッチングにおける損傷発生機構の解明とその抑制
- Author
-
市橋, 由成
- Author(Another name)
-
イチハシ, ヨシナリ
- University
-
東北大学
- Types of degree
-
博士 (工学)
- Grant ID
-
甲第13694号
- Degree year
-
2010-09-08
Note and Description
博士論文