プラズマエッチングにおける損傷発生機構の解明とその抑制

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Author

    • 市橋, 由成 イチハシ, ヨシナリ

Bibliographic Information

Title

プラズマエッチングにおける損傷発生機構の解明とその抑制

Author

市橋, 由成

Author(Another name)

イチハシ, ヨシナリ

University

東北大学

Types of degree

博士 (工学)

Grant ID

甲第13694号

Degree year

2010-09-08

Note and Description

博士論文

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000548596
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000550701
  • Text Lang
    • jpn
  • NDLBibID
    • 023337639
  • Source
    • NDL ONLINE
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