Quantum-beam-induced phenomena in chlorinated resists : reaction mechanisms and applications to advanced technologies 塩素系レジストの量子ビーム誘起反応 : 反応機構の解明と先端技術への応用
この論文をさがす
著者
書誌事項
- タイトル
-
Quantum-beam-induced phenomena in chlorinated resists : reaction mechanisms and applications to advanced technologies
- タイトル別名
-
塩素系レジストの量子ビーム誘起反応 : 反応機構の解明と先端技術への応用
- 著者名
-
大山, 智子
- 著者別名
-
オオヤマ, トモコ
- 著者名
-
五輪, 智子
- 著者別名
-
ゴワ, トモコ
- 学位授与大学
-
早稲田大学
- 取得学位
-
博士 (理学)
- 学位授与番号
-
甲第3555号
- 学位授与年月日
-
2012-03-15
注記・抄録
博士論文
