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イオンビーム手法によるGeナノ構造体の低温形成と評価 イオン ビーム シュホウ ニヨル Ge ナノ コウゾウタイ ノ テイオン ケイセイ ト ヒョウカ

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著者

    • 宮脇, 亜子 ミヤワキ, アコ

書誌事項

タイトル

イオンビーム手法によるGeナノ構造体の低温形成と評価

タイトル別名

イオン ビーム シュホウ ニヨル Ge ナノ コウゾウタイ ノ テイオン ケイセイ ト ヒョウカ

著者名

宮脇, 亜子

著者別名

ミヤワキ, アコ

学位授与大学

名古屋工業大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第842号

学位授与年月日

2012-03-23

注記・抄録

博士論文

主査:種村 眞幸

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000560378
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000562586
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 023889648
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
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