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光音響法を用いた半導体表面近傍の評価に関する研究 Studies on evaluation in near surface of semiconductor using photoacoustic method

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著者

    • 村上, 雅彦 ムラカミ, マサヒコ

書誌事項

タイトル

光音響法を用いた半導体表面近傍の評価に関する研究

タイトル別名

Studies on evaluation in near surface of semiconductor using photoacoustic method

著者名

村上, 雅彦

著者別名

ムラカミ, マサヒコ

学位授与大学

神奈川工科大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第24号

学位授与年月日

2012-03-24

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000560925
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000563136
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 023900327
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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