半導体パターン計測の高精度化のためのSEM画像解析に関する研究 Research on the scanning electron microscopy image analysis for realizing highly accurate measurement of semiconductor pattern
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著者
書誌事項
- タイトル
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半導体パターン計測の高精度化のためのSEM画像解析に関する研究
- タイトル別名
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Research on the scanning electron microscopy image analysis for realizing highly accurate measurement of semiconductor pattern
- 著者名
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宍戸, 千絵
- 著者別名
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シシド, チエ
- 学位授与大学
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横浜国立大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第1474号
- 学位授与年月日
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2012-03-23
注記・抄録
博士論文