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ナノメータ研削用マイクロ研削工具の開発 Microgrinding tool adaptable to nanometer grinding

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著者

    • 合屋, 尚子 ゴウヤ, ナオコ

書誌事項

タイトル

ナノメータ研削用マイクロ研削工具の開発

タイトル別名

Microgrinding tool adaptable to nanometer grinding

著者名

合屋, 尚子

著者別名

ゴウヤ, ナオコ

学位授与大学

福岡工業大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第28号

学位授与年月日

2012-03-20

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000561559
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000563773
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 023908106
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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