ナノメータ研削用マイクロ研削工具の開発 Microgrinding tool adaptable to nanometer grinding
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著者
書誌事項
- タイトル
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ナノメータ研削用マイクロ研削工具の開発
- タイトル別名
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Microgrinding tool adaptable to nanometer grinding
- 著者名
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合屋, 尚子
- 著者別名
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ゴウヤ, ナオコ
- 学位授与大学
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福岡工業大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第28号
- 学位授与年月日
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2012-03-20
注記・抄録
博士論文
