反応性スパッタリング法による酸化チタン薄膜の作製と光機能特性の改善に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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反応性スパッタリング法による酸化チタン薄膜の作製と光機能特性の改善に関する研究
- 著者名
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Shukur Haider Ali
- 著者別名
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シュクル ハイデル アリ
- 学位授与大学
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工学院大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第122号
- 学位授与年月日
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2012-03-31
注記・抄録
博士論文
反応性スパッタリング法による酸化チタン薄膜の作製と光機能特性の改善に関する研究
Shukur Haider Ali
シュクル ハイデル アリ
工学院大学
博士 (工学)
甲第122号
2012-03-31
博士論文