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反応性スパッタリング法による酸化チタン薄膜の作製と光機能特性の改善に関する研究

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著者

    • Shukur Haider Ali シュクル ハイデル アリ

書誌事項

タイトル

反応性スパッタリング法による酸化チタン薄膜の作製と光機能特性の改善に関する研究

著者名

Shukur Haider Ali

著者別名

シュクル ハイデル アリ

学位授与大学

工学院大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第122号

学位授与年月日

2012-03-31

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000564249
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000566473
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 024033735
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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