Development of negative-type photoresists for microelectronic devices 電子デバイス用ネガ型感光性材料の開発
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著者
書誌事項
- タイトル
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Development of negative-type photoresists for microelectronic devices
- タイトル別名
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電子デバイス用ネガ型感光性材料の開発
- 著者名
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齋藤, 悠太
- 著者別名
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サイトウ, ユウタ
- 学位授与大学
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東京工業大学
- 取得学位
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博士(工学)
- 学位授与番号
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甲第8664号
- 学位授与年月日
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2012-03-26
注記・抄録
博士論文