Self-calibration and applications of diffraction gratings for precision nanometrology 精密ナノ計測用回折格子の自律校正と応用
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著者
書誌事項
- タイトル
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Self-calibration and applications of diffraction gratings for precision nanometrology
- タイトル別名
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精密ナノ計測用回折格子の自律校正と応用
- 著者名
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金, 千載
- 著者別名
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キム, ウジェ
- 学位授与大学
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東北大学
- 取得学位
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博士(工学)
- 学位授与番号
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甲第15183号
- 学位授与年月日
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2013-03-27
注記・抄録
博士論文