An experimental study of MEMS mirror actuation for two-dimensional laser beam steering 2次元光偏向MEMSミラーの駆動に関する実験的研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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An experimental study of MEMS mirror actuation for two-dimensional laser beam steering
- タイトル別名
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2次元光偏向MEMSミラーの駆動に関する実験的研究
- 著者名
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井関, 隆之
- 著者別名
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イセキ, タカユキ
- 学位授与大学
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東京工業大学
- 取得学位
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博士(工学)
- 学位授与番号
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甲第8962号
- 学位授与年月日
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2012-09-25
注記・抄録
博士論文