AlGaN/GaN HFETの高性能化プロセスに関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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AlGaN/GaN HFETの高性能化プロセスに関する研究
- 著者名
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黒田, 正行
- 著者別名
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クロダ, マサユキ
- 学位授与大学
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東京大学
- 取得学位
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博士(科学)
- 学位授与番号
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乙第17797号
- 学位授与年月日
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2013-03-06
注記・抄録
博士論文
AlGaN/GaN HFETの高性能化プロセスに関する研究
黒田, 正行
クロダ, マサユキ
東京大学
博士(科学)
乙第17797号
2013-03-06
博士論文