Studies on Plasma Etching Process Based on Autonomous Control for Nano-meter Fabrication ナノメータ精度加工に向けた自律制御プラズマエッチングプロセスに関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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Studies on Plasma Etching Process Based on Autonomous Control for Nano-meter Fabrication
- タイトル別名
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ナノメータ精度加工に向けた自律制御プラズマエッチングプロセスに関する研究
- 著者名
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SUZUKI, Toshiya
- 著者名
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鈴木, 俊哉
- 学位授与大学
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名古屋大学
- 取得学位
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博士(工学)
- 学位授与番号
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甲第10598号
- 学位授与年月日
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2014-02-25
