Segregation and transport coefficients of impurities at the SiO2/Si interface
収録刊行物
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- J. Appl. Phys.
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J. Appl. Phys. 61 (4), 1553-1555, 1987
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詳細情報
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- CRID
- 1572824501498391808
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- NII論文ID
- 80003259541
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- データソース種別
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- CiNii Articles