An Electron Cyclotron Resonance Plasma Deposition Technique Employing Magnetron Mode Sputtering
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収録刊行物
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- J. Vac. Sci. Technol.
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J. Vac. Sci. Technol. 6 (4), 2348-, 1988
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詳細情報
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- CRID
- 1574231876389165312
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- NII論文ID
- 80004358349
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- NII書誌ID
- AA10635106
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- データソース種別
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- CiNii Articles