Model of Energetic Electron Transport in Magnetron discharge
収録刊行物
-
- J. Vac. Sci. Technol., A
-
J. Vac. Sci. Technol., A 8 (1), 30-37, 1990
- Tweet
詳細情報
-
- CRID
- 1571980076591462144
-
- NII論文ID
- 80005036579
-
- データソース種別
-
- CiNii Articles