Influence of a Direct Current Bias on the Energy of Ions from an Electron Cyclotron Resonance Plasma
この論文をさがす
収録刊行物
-
- J. Vac. Sci. Technol.
-
J. Vac. Sci. Technol. 10 434-438, 1992
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1570854176708607616
-
- NII論文ID
- 80006499260
-
- NII書誌ID
- AA10635106
-
- データソース種別
-
- CiNii Articles