Affecting factors on surface-wave-produced plasma

• KOMACHI K.

収録刊行物

• J. Vac. Sci. Technol.

  J. Vac. Sci. Technol. 11 164-167, 1993

詳細情報

• CRID: 1573387451493359872
• NII論文ID: 80006895005
• NII書誌ID: AA10635106
• データソース種別:
  • CiNii Articles