An Electrostatic Servo-type Three-axis Silicon Accelerometer
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収録刊行物
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- Meas. Sci. Technol.
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Meas. Sci. Technol. 6 11-15, 1994
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1573387451505305216
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- NII論文ID
- 80008049671
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- NII書誌ID
- AA1072904X
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- データソース種別
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- CiNii Articles