Growth of epitaxial AlN(0001) on Si(111) by reactive magnetron sputter deposition

• IVANOV I.

収録刊行物

• J. Appl. Phys.

  J. Appl. Phys. 78 5721-5726, 1995

詳細情報

• CRID: 1573668926488563968
• NII論文ID: 80008582257
• NII書誌ID: AA00693547
• データソース種別:
  • CiNii Articles