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収録刊行物
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- J. Vac. Sci. Technol. A
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J. Vac. Sci. Technol. A 14 550-, 1996
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詳細情報
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- CRID
- 1572824501553254656
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- NII論文ID
- 80008867005
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- データソース種別
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- CiNii Articles