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収録刊行物
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- J. Vac. Sci. Technol. A
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J. Vac. Sci. Technol. A 14 2802-, 1996
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詳細情報
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- CRID
- 1570291225874222976
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- NII論文ID
- 80009196739
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- データソース種別
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- CiNii Articles