Electrical properties of hafnium silicate gate dielectrics deposited directly on silicon
収録刊行物
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- Appl. Phys. Lett.
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Appl. Phys. Lett. 74 2854-2856, 1999
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詳細情報
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- CRID
- 1573950401482135680
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- NII論文ID
- 80011063114
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- データソース種別
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- CiNii Articles