PBII法により作製したDLC膜の水素量解析法の検討

• 安井 治之

• 粟津 薫

• 楢本 洋

書誌事項

タイトル別名

• PBIIホウ ニ ヨリ サクセイ シタ DLC マク ノ スイソリョウ カイセキホウ ノ ケントウ

収録刊行物

• 日本材料強度学会誌 = Journal of the Japanese Society for Strength and Fracture of Materials

  日本材料強度学会誌 = Journal of the Japanese Society for Strength and Fracture of Materials 37 (2), 33-39, 2003-06

  仙台 : 日本材料強度学会

キーワード

• DLC
• PBII
• RNRA
• ERDA
• GDOES
• hydrogen

詳細情報

• CRID: 1520290884413875584
• NII論文ID: 80015948328
• NII書誌ID: AN00189877
• ISSN: 02864010
• NDL書誌ID: 6609193
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/6609193
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6609193
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles