Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena

著者

書誌事項

Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena

American Institute of Physics, 1991-

  • Vol. 9, no. 1 (Jan./Feb. 1991)-

タイトル別名

Journal of vacuum science and technology. B, 2nd series. Nanotechnology & microelectronics: mateials, processing, mesurement, & phenomena

JVSTB, Nanotechnology & microelectronics

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    AA10804928
  • ISSN
    21662746
  • 出版国コード
    us
  • 標準言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    New York
  • 出版状況
    刊行中
  • 刊行頻度
    隔月刊
  • 定期性
    定期
  • 逐次刊行物のタイプ
    定期刊行物
  • 雑誌変遷マップID
    30085200
  • CODEN
    JVTBD9
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