Tables of ion implantation spatial distributions
著者
書誌事項
Tables of ion implantation spatial distributions
Gordon & Breach Science Publishers, c1986
English ed., rev. and enl. / translated from the Russian by S.J. Amoretty
- : Switzerland
- タイトル別名
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Tablit︠s︡y parametrov prostranstvennogo raspredelenii︠a︡ ionno-implantirovannykh primeseĭ
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注記
Translation of: Tablit︠s︡y parametrov prostranstvennogo raspredelenii︠a︡ ionno-implantirovannykh primeseĭ
"Published under license by OPA Ltd. for Gordon and Breach Science Publishers S.A."
Bibliography: p. 52-55
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