Gビット時代へのリソグラフィ技術 : クォーターミクロンからサブクォーターミクロンへ向けて
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Gビット時代へのリソグラフィ技術 : クォーターミクロンからサブクォーターミクロンへ向けて
リアライズ社, 1995.3
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G ビット ジダイ エノ リソグラフィ ギジュツ : クォーター ミクロン カラ サブ クォーター ミクロン エ ムケテ
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注記
各章末: 参考文献
執筆: 岡崎信次ほか
