イオンビームによる物質分析・物質改質
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イオンビームによる物質分析・物質改質
内田老鶴圃, 2000.3
- タイトル読み
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イオン ビーム ニヨル ブッシツ ブンセキ ブッシツ カイシツ
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注記
執筆者: 森田健治ほか
内容説明・目次
目次
- 1 イオンビーム物質分析(RBS(ラザフォード後方散乱分光法);ERD(反跳原子検出法);NRD(核反応検出法);PIXE ほか)
- 2 イオンビーム物質改質(イオン注入技術;イオン注入による表層改質;イオンビームデポジション;クラスターイオンビーム技術 ほか)
「BOOKデータベース」 より