第4世代のLCD製造・検査技術
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第4世代のLCD製造・検査技術
プレスジャーナル, 2000.1
- タイトル読み
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ダイ4 セダイ ノ LCD セイゾウ ケンサ ギジュツ
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注記
月刊『FPD intelligence』増刊号
内容説明・目次
内容説明
第４世代へ向けた最新のＬＣＤ製造・検査技術とコスト削減法、環境・省エネ対策を完全網羅。
目次
- 第１編 ４期ラインへ向けたＴＦＴ‐ＬＣＤ技術（ａ‐Ｓｉ ＴＦＴ‐ＬＣＤの高画質化・高性能化；ＬＣＤの高速化技術；４期ラインへ向けたａ‐Ｓｉ ＴＦＴ‐ＬＣＤ製造技術；工程別製造技術 ほか）
- 第２編 ＴＦＴ‐ＬＣＤの製造コスト削減（デバイス構造の簡素化とＰＥＰ数・工程数削減；部品・材料の削減によるコストダウンの可能性；歩留り向上；次期ａ‐Ｓｉ ＴＦＴ‐ＬＣＤへの設備投資のあり方）
- 第３編 ＬＣＤの省エネ・環境対策（ＬＣＤ製造プロセスの環境負荷；リモートＮＦ３プラズマソースクリーニング；ＬＣＤ工場におけるエネルギーの有効利用；フォトレジストの再生・リサイクル）
- 第４編 ポストａ‐Ｓｉ ＴＦＴ‐ＬＣＤを狙う新しいＬＣＤ（低温ｐｏｌｙ‐Ｓｉ ＴＦＴ‐ＬＣＤ；強誘電性ＬＣＤ；反強誘電ＬＣＤ；反射型ＬＣＤ ほか）
「BOOKデータベース」 より