Optical metrology roadmap for the semiconductor, optical, and data storage industries II : 2-3 August 2001 San Diego, USA

書誌事項

Optical metrology roadmap for the semiconductor, optical, and data storage industries II : 2-3 August 2001 San Diego, USA

Angela Duparré, Bhanwar Singh, chairs/editors ; sponsored ... by SPIE--the International Society for Optical Engineering

(Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering, v. 4449)

SPIE, c2001

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  • Proceedings

    SPIE -- the International Society for Optical Engineering

    SPIE -- the International Society for Optical Engineering

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA58045904
  • ISBN
    • 0819441635
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Bellingham, Wash.
  • ページ数/冊数
    ix, 294 p.
  • 大きさ
    28 cm
  • 親書誌ID
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