微細加工技術
著者
書誌事項
微細加工技術
（ポリマーフロンティア21シリーズ, 13）
エヌ・ティー・エス, 2002.9
- 基礎編
- タイトル読み
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ビサイ カコウ ギジュツ
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注記
(社)高分子学会主催のセミナー(2002年4月16日開催)を講演録として編集したもの
奥付の編集: エヌ・ティー・エス編集企画部
各章末: 参考文献
応用編は固有の標題をもつ別書誌<BA62862404>
収録内容
- 基礎編: 近接場光学を用いたナノフォトニクスとそのための微細加工 / 大津元一 [執筆]
- フェムト秒レーザーによる超微細光造形法 / 河田聡 [執筆]
- 自己組織化的手法による微細加工 / 益子信郎 [執筆]
- マイクロリキッドプロセスを用いたデバイスの創成と将来展望 / 下田達也 [執筆]
- 連続型EUVリソグラフィ開発と樹脂感光性評価 / 東博純 [執筆]
- 新しい露光方法に対応したレジスト材料の開発 / 緒方寿幸 [執筆]