薄膜作製応用ハンドブック

著者

• 小川, 正毅 オガワ, マサタケ
• 多賀, 康訓 タガ, ヤスノリ
• 八瀬, 清志 ヤセ, キヨシ
• 権田, 俊一 ゴンダ, シュンイチ

書誌事項

薄膜作製応用ハンドブック

小川正毅, 多賀康訓編集委員 ; 八瀬清志編集協力委員

エヌ・ティー・エス, 2003.4

21世紀版

タイトル読み

ハクマク サクセイ オウヨウ ハンドブック

注記

監修: 權田俊一

執筆者: 權田俊一ほか

参考・引用文献: 各章末

内容説明・目次

目次

• 第１編　薄膜材料の特性と特徴（薄膜の特徴と特性；薄膜材料の電気特性　ほか）
• 第２編　薄膜の作製と加工（基板と表面処理；ＰＶＤ法　ほか）
• 第３編　薄膜・表面・界面の分析と評価（薄膜・表面・界面の分析・評価；薄膜分析・評価対象各論）
• 第４編　薄膜技術の応用と展望（半導体デバイス；光部品　ほか）

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA61815894
• ISBN:
  • 4860430190
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 5, 15, 1330, 25, 19, 18p, 図版18p, 表9p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 549
  • NDC8 : 549.036
  • NDC9 : 549.8
  • NDLC : ND2
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : 薄膜