マイクロエレクトロニクスにおける高分子材料 : ナノ構造集積・制御による新機能発現
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書誌事項
マイクロエレクトロニクスにおける高分子材料 : ナノ構造集積・制御による新機能発現
(ポリマーフロンティア21シリーズ, 22)
エヌ・ティー・エス, 2004.7
- タイトル別名
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マイクロエレクトロニクスにおける高分子材料 : ナノ構造集積制御による新機能発現
- タイトル読み
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マイクロエレクトロニクス ニオケル コウブンシ ザイリョウ : ナノ コウゾウ シュウセキ セイギョ ニ ヨル シンキノウ ハツゲン
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文献あり
内容説明・目次
目次
- 1 ULSIの将来展望と高分子材料への期待
- 2 層間絶縁膜用低誘電率ボラジン—ケイ素ポリマーの開発
- 3 エレクトロニクス用感光性耐熱ポリマーの合成
- 4 導電性高分子で作るプラスチックエレクトロニクス
- 5 実装材料としてのエポキシ樹脂の開発動向
- 6 エレクトロニクス実装における高分子材料設計技術
「BOOKデータベース」 より