Analysis and design principles of MEMS devices

著者

• Bao, Min-Hang

書誌事項

Analysis and design principles of MEMS devices

by Minhang Bao

Elsevier, 2005

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA73467762
• ISBN:
  • 0444516166
• 出版国コード: ne
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Amsterdam ; Tokyo
• ページ数/冊数: xii, 312 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • DC22 : 621.381
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems