MEMS開発&活用スタートアップ : 動作原理,設計・製造工程から応用事例まで

Author(s)

• CQ出版株式会社 CQ シュッパン カブシキ ガイシャ

Bibliographic Information

MEMS開発&活用スタートアップ : 動作原理,設計・製造工程から応用事例まで

デザインウェーブマガジン編集部編

（デザインウェーブムック）

CQ出版, 2004.12

Other Title

MEMS開発&活用スタートアップ : 動作原理,設計・製造工程から応用事例まで / デザインウェーブマガジン編集部編

Title Transcription

MEMS カイハツ& カツヨウ スタート アップ : ドウサ ゲンリ セッケイ セイゾウ コウテイ カラ オウヨウ ジレイ マデ

Note

『Design wave magazine』12月増刊号

<BA69713140>とは別書誌

Description and Table of Contents

Table of Contents

• 第１部　ＭＥＭＳデバイス設計・製造編（「ＭＥＭＳ」の世界へようこそ；ＭＥＭＳ圧力センサ設計；ＭＥＭＳ圧力センサ製造工程；身近なＭＥＭＳデバイスの動作原理を理解する　ほか）
• 第２部　ＭＥＭＳシステム設計編（ＭＥＭＳ加速度センサをシステムに組み込む；ＭＥＭＳ加速度センサで無線センサ・ネットワークを構築する；ＭＥＭＳジャイロ・センサをシステムに組み込む；ＭＥＭＳ慣性デバイスのキラー・アプリ　ほか）

by "BOOK database"

Details

• NCID: BA74167083
• ISBN:
  • 4789837165
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 216p
• Size: 24cm
• Classification:
  • NDC8 : 530
  • NDC9 : 530
• Subject Headings:
  • BSH : マイクロマシン
• Parent Bibliography ID:
  • BA53038107