絵とき放電技術基礎のきそ
著者
書誌事項
絵とき放電技術基礎のきそ
(Electronics series)
日刊工業新聞社, 2007.8
- タイトル別名
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「放電技術」基礎のきそ : 絵とき
放電技術基礎のきそ : 絵とき
- タイトル読み
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エトキ ホウデン ギジュツ キソ ノ キソ
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注記
参考文献: p174-176
内容説明・目次
内容説明
ナノサイズの素子を作るためのキーテクノロジーである放電プラズマ。その各装置と応用の両面での参考書。
目次
- 第1章 放電・プラズマの概要(放電・プラズマとは;高度情報化社会を支える放電技術 ほか)
- 第2章 物質の構成要素と気体(物質の最小微粒子;電子の3つの顔 ほか)
- 第3章 放電プラズマの基礎(電子と分子の衝突;放電開始 ほか)
- 第4章 放電プラズマ直接応用(スパッタ薄膜;プラズマCVD ほか)
- 第5章 プラズマ・プロセス応用(垂直磁気記録;超LSI ほか)
「BOOKデータベース」 より