「薄膜」のキホン : 原子に迫る超微細・超高密度の世界

書誌事項

「薄膜」のキホン : 原子に迫る超微細・超高密度の世界

麻蒔立男著

(イチバンやさしい理工系, SBE-006)

ソフトバンククリエイティブ, 2010.9

タイトル別名

「薄膜」のキホン

薄膜のキホン

「薄膜」のキホン : 原子に迫る超微細超高密度の世界

薄膜のキホン : 原子に迫る超微細超高密度の世界

タイトル読み

ハクマク ノ キホン : ゲンシ ニ セマル チョウビサイ チョウコウミツド ノ セカイ

大学図書館所蔵 件 / 66

注記

参考文献: p186-188

タイトルは奥付による

内容説明・目次

内容説明

わが国オリジナルの技術が世界をリードする側面をもつ薄膜技術のすべてにわたり、注目すべきポイントにしぼってやさしく図解した入門書。真空の中でプラズマを利用して新しい素材をつくる薄膜技術で、どのような世界が見えてくるのかなどを紹介。

目次

  • 第1章 よい暮らしは美と微から
  • 第2章 真空は薄膜づくりの貴重な環境
  • 第3章 薄膜をつくろう
  • 第4章 薄膜には独特の性質が表れる
  • 第5章 基板と薄膜を強く結びつけるための技術
  • 第6章 薄膜づくりにはプラズマが大切
  • 第7章 古くから用いられた蒸着法
  • 第8章 大面積ソース・量産向きのスパッタ法
  • 第9章 気体から薄膜をつくる気相成長法
  • 第10章 液体の中で薄膜をつくる—めっき
  • 第11章 薄膜を回路やトランジスタに加工するエッチング
  • 第12章 薄膜を使って前進—その可能性はかぎりない

「BOOKデータベース」 より

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB03511925
  • ISBN
    • 9784797357134
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    190p
  • 大きさ
    21cm
  • 分類
  • 件名
  • 親書誌ID
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