高周波半導体の基板技術とデバイス応用

Author(s)

• 佐野, 芳明 サノ, ヨシアキ
• 奥村, 次徳 オクムラ, ツグノリ

Bibliographic Information

高周波半導体の基板技術とデバイス応用

佐野芳明, 奥村次徳監修

（CMCテクニカルライブラリー, 396 . エレクトロニクスシリーズ||エレクトロニクス シリーズ）

シーエムシー出版, 2011.7

普及版

Other Title

Substrate technology and device applications of high frequency semiconductor

高周波半導体材料・デバイスの新展開

Title Transcription

コウシュウハ ハンドウタイ ノ キバン ギジュツ ト デバイス オウヨウ

Note

その他のタイトルは「普及版の刊行にあたって」による

初版のタイトル: 高周波半導体材料・デバイスの新展開 (2006年刊行)

文献: 各章末

Description and Table of Contents

Table of Contents

• 第１編　化合物半導体基板技術（ＧａＡｓ基板；ＳｉＣ基板；新材料系基板）
• 第２編　結晶成長技術（３‐Ｖ族化合物成長技術；３‐Ｎ化合物成長技術；Ｓｍａｒｔ　Ｃｕｔによるウェーハ貼り合わせ技術）
• 第３編　デバイス技術（３‐Ｖ族系デバイス；３族窒化物系デバイス；シリコン系デバイス；テラヘルツ波半導体デバイス）

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Details

• NCID: BB06138216
• ISBN:
  • 9784781303420
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: vii, 266p
• Size: 21cm
• Classification:
  • NDC9 : 549.8
• Subject Headings:
  • BSH : 半導体
• Parent Bibliography ID:
  • BA49949541