小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法 : μmからnm寸法のものをつくるための材料,物性,形状,機能の評価法

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書誌事項

小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法 : μmからnm寸法のものをつくるための材料,物性,形状,機能の評価法

肥後矢吉編著 ; 谷川紘 [ほか] 共著

コロナ社, 2015.7

タイトル別名

小さなものをつくるためのナノサブミクロン評価法 : μmからnm寸法のものをつくるための材料物性形状機能の評価法

Materials evaluation methods for micro/nano structures and devices : simulation of dynamic functions, and shape and mechanical property measurement methods including elastic, tensile, fatigue, vibration and bonding

タイトル読み

チイサナ モノ オ ツクル タメ ノ ナノ/サブミクロン ヒョウカホウ : μm カラ nm スンポウ ノ モノ オ ツクル タメ ノ ザイリョウ,ブッセイ,ケイジョウ,キノウ ノ ヒョウカホウ

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注記

その他の著者: 鈴木健一郎, 磯野吉正, 荻博次, 土屋智由, 石山千恵美

引用・参考文献: 章末

内容説明・目次

目次

  • 1 シミュレーション
  • 2 薄膜の弾性定数の精密計測法
  • 3 微小材料や薄膜の材料強度評価法
  • 4 3次元マイクロ構造体の形状計測法および信頼性評価
  • 5 動特性計測:微細なものの動的変形と振動評価
  • 6 微細なものの接着・接合強度評価

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB19073022
  • ISBN
    • 9784339046434
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    viii, 196p
  • 大きさ
    21cm
  • 分類
  • 件名
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