原子レベルの機械的表面創成機構の分子動力学による解明とその極限精度加工への応用
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原子レベルの機械的表面創成機構の分子動力学による解明とその極限精度加工への応用
（科学研究費補助金(一般研究A)研究成果報告書, ; 平成7年度）
大阪大学工学部, 1996.3
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ゲンシ レベル ノ キカイテキ ヒョウメン ソウセイ キコウ ノ ブンシ ドウリキガク ニ ヨル カイメイ ト ソノ キョクゲン セイド カコウ ヘノ オウヨウ
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課題番号: 05402030