ナノインプリントの開発とデバイス応用

著者

• 松井, 真二 マツイ, シンジ

書誌事項

ナノインプリントの開発とデバイス応用

松井真二監修

（CMCテクニカルライブラリー, 641 . エレクトロニクスシリーズ||エレクトロニクス シリーズ）

シーエムシー出版, 2018.3

普及版

タイトル別名

Development of nanoimprint and device applications

ナノインプリントの開発とデバイス応用

タイトル読み

ナノインプリント ノ カイハツ ト デバイス オウヨウ

注記

2011年刊の普及版

文献あり(主に各論文末)

内容説明・目次

目次

• 総論
• 第１編　転写方式（熱ナノインプリント；光ナノインプリント；室温ナノインプリント；ナノインプリントのシミュレーション技術）
• 第２編　装置と関連部材（ナノインプリント装置；モールド；樹脂；離型剤（評価）；離型不良・課題；ナノインプリントパターン評価）
• 第３編　デバイス応用（光デバイス；電子デバイス；エネルギーデバイス；バイオデバイス）

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB25723075
• ISBN:
  • 9784781312729
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: vii, 282p
• 大きさ: 26cm
• 分類:
  • NDC8 : 549
  • NDC9 : 549
• 件名:
  • BSH : ナノインプリント
• 親書誌ID:
  • BA49949541