イオン注入と蒸着による表面改質と新機能薄膜形成技術の開発
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イオン注入と蒸着による表面改質と新機能薄膜形成技術の開発
藤本文範, 1987.3
- タイトル読み
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イオン チュウニュウ ト ジョウチャク ニヨル ヒョウメン カイシツ ト シンキノウ ハクマク ケイセイ ギジュツ ノ カイハツ
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注記
昭和59-61年度文部省科学研究費補助金試験研究(1)研究成果報告書,研究課題番号(598500